半导体量检测行业是半导体产业的生命线,因为它涉及每道工序的工艺环节和技术参数,确保良率控制。每道制程的良率若为99%,经过600道工序后,最终良率可能降至0.2%左右,因此量检测对良率控制至关重要。
卓海科技从2009年成立以来,专注于前道量检测设备的修复和运维。2020年开始自研新产品,目前业务涵盖修复、运维和自研三大领域,覆盖前道94.9%的产品范围。
卓海科技自2020年开始自研产品,目前团队有40多人,布局了9款产品,包括紫外固态激光器、高压电源等核心零部件,以及薄膜应力检测仪、四探针电阻测量仪等整机设备。部分产品已通过Fab厂的验证,并实现批量出货。
自研产品的最大挑战在于电学检测中的小电流处理和微弱信号处理,以及对半导体工艺的深入理解。卓海通过多代产品迭代,逐步达到与国外对标产品相当的水平。
卓海科技认为修复运维业务与自研产品具有互补性。国内半导体量检测国产化率仅为3.6%,市场空间巨大。同时,国内Fab厂对翻新设备需求旺盛,卓海通过修复业务积累经验和资金,支持自研产品的逐步成长。
国内半导体量检测行业与国外差距显著。例如,KLA的无图案晶圆缺陷检测产品已达到5纳米制程,而国内仍停留在30多纳米水平。这表明国内企业有巨大的成长空间和机会。
卓海科技呼吁国内厂商专注补齐短板,避免烧投资人的钱打价格战,形成良性竞争。同时,希望更多优秀人才加入半导体量检测行业,共同推动行业发展。