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欢迎大家关注芯片揭秘我是主播幻石本期是我们的老朋友来自苏州红虎半导体有限公司的执行总裁林坚林总我们林总呢之前其实上过我们大咖谈新的栏目的应该是在 317 期那个时候你们刚好取得了一个非常重要的进展我们当时还是很兴奋的
在台积电供货的过程然后今天呢再次请到您呢是因为最近有一个赛道特别热就是大家一直在讲的这个巨声机器人其实我是觉得你们应该是在这个风口下又被火了一把所以今天想请林总再来分享
那先请我们林总跟我们芯片揭秘的朋友们打个招呼
感谢换时再一次来到芯片揭秘非常开心非常感动这几年同步的发展也确实有很大的一个变化所以今天也跟大家汇报一下我们在机器人赛道的一些进展那么请你来跟我们科普一下因为大家都在讲巨声智能
我也查了它的概念是指有物理载体的智能体在物理世界交互的过程中通过感知控制和自主学习来完成知识的积累和技能形成影响物理世界的能力我觉得这个词还是比较抽象的那么最近又有 AI 智能体的概念把这个概念给搞得非常的复杂那么我也想问问您作为半导体的晶圆传输机器
你怎么看待目前的这个领域然后智能体这个节点是否是成为机器人重要的一个影响因素最近确实 AI 很火特别是过年的时候 DeepSeek 发布以后其实对各个行业各个赛道都有很大的冲击或者很大的一个负能对于我们半导体晶圆传送设备我们本身以前是一个自动化的一个设备它
它就是一个把全自动的在高接近高精度的情况下把晶圆搬运到一个目标位置但其实这个过程当中我们也会发现有一些异常情况的出现那在原先的这种自动化里面可能会忽略掉或者说没有卡住但是有了 AI 以后它具备了一些自我学习的能力在原先没有把自动化的这些传感器加进去的情况下它是永远解决不了这种偶发的一些异常
但现在有 AI 这个模型或者说我们的视觉的引入以后它其实可以做一些自我学习在碰到一些异常的时候它能够自我去判断然后中断一些进程那这种就可以保证我的自动化的传送过程当中对我的晶圆也好对我的设备也好起到一个非常好的保护作用那另外一个呢其实在原先的自动化设备里面我们说预防性保养实际上是蛮有困难的
就很多都是卡一个 lifetime 有可能还没到有问题的时候你就做一些成本的消耗了但如果用了 AI 以后事实上它可以监控到我们很多的电流也好电压也好很多传感器信号它自我学习发现有异常的时候
它可以警觉的提前预警给我们 warning 不一定是说真的让 run to fail 或者提前去消耗很多的费用所以我觉得这些都是有助于我们整个工业品做到更好的管理更好的预防
然后更好的去做一些异常的防控对 这也是一些新的产品开发的思路我感觉机器就变得更加有一些智慧了那么您是做半导体方向的所以我也很想请教一下就是我们现在聊那么多机器人方向有居家的 有工业的像咱们半导体这个西芬赛道的这种机器人尤其是晶圆传输的机器人和传播
半导体机器人是一个非常细分的赛道这个行业上发展了非常多的年份现在主要还是以美国跟日本的一些供应商基本上是垄断的一个状态
为什么这么长时间只有这些厂商一直在垄断的因为工业品特别是半导体的它对可靠性的要求极高然后它对这种粉尘控制的要求离子污染的一些要求高精度高速的这种要求实际上是非常高的所以你传统的一些我们说六周机器人也好或者扫地机器人也好服务行动的机器人它可能对图层要求
不是那么高然后它在可能速度上效率上它不是要求那么高但是对于我们这种专用的一个设备其实这些点可能都是原先的传统的这些机器人不一定有这方面的我们叫 NowHow 好像讲不清但是有经验的人他就能够达到我们这个要求那如果没有经验可能就会踩一些坑你说这个 NowHow 是我们这个行业的一个黑化是吧对
对这个行业的一些理论不一定能够去解释的一些现象特别有一些高阶制程上面有很多现象你就是靠一个经验或者说我们叫实践的工程的一个经验来把这些问题规避掉那这些可能就属于一些囊号你点破了大家可能就知道了那你不点破可能很多人要花很多的 DOE 的实验来找到一些最优的方案所以这个就是半导体里面很多人可以进来但是
很多我们真正专业的一些客户一定会要求你的背景你的可靠性你的验证你的 instabase 这些东西实际上是他会考量的很重要的点那这些点的逻辑就是因为你到底知不知道我要的这个东西有多少男号你知道我在管控哪些点吗如果你不知道你贸然进来我一定不会给你机会
所以我们半导体是一个不愿意做白老鼠的所以以前我在中兴国际我们就是不太愿意跨国产的 second source 的一个逻辑因为可靠性要求太高一旦出问题会影响很大但你省成本那时候其实还好但现在给我们一个非常好的机会就是美国对我们这个制裁反而把我们这一块很急迫的要做国产替代要做卡脖子的一个解决
所以我们呢就是因为来自于甲方嘛所以对这一块的客户的一些需求对产品的理解会更深所以这几年也确实发展的也比较快我们上一次交流完到现在就是有什么新的产品上的变化或者应用上的变化吗有没有什么更新的消息给我们分享一下今年其实我们鸿湖重点在核心零部件的一些推广那其实大家
可以看得到我们现场各种机械手大气的机械手真空的机械手目前都已经全部实现国产化这个事实上是在国内目前为数不多的我们原来早期在芯片揭秘采访的时候我们的整机 Sorta 进到了台积电但其实里面的核心部件还是安川的
还是日本的但是现在我们出的很多的 Solta 跟 EF 全是国产的带着我们自己的机械手所以如果做集成当时我们鸿湖在的时候可能也就三四家在做 Solta 跟 EF 的集成但是现在中国已经有大概二十多家在做这个集成的活但是呢二十多家里面现在目前为数不多的可能只有三家我们能够把大气跟真空的机械手实现国产化的
所以其实最终我们还是要把核心的零部件国产化这样才能真正的解决卡布兹的问题那如果只是做一个集成其实这个技术门槛不是特别高的以中国人的聪明才智很快就能做出来
所以这一块也是鸿湖近几年来持续融资持续投入研发把核心零部件一一公关公克今年我们大气的五款真空的五款都亮相我们半导体展那这个五款是有什么区别吗有不同的应用场景那个大气下的有单臂的有双臂的有单臂单翻转的有双臂双翻转的
那有否四个 low port 的长臂的设计的所以这些都是基本能够满足目前所有客户的传送的需求那真空这一块我们现在有三轴对标布鲁克斯 Mega 7 的三轴青蛙腿的单臂的然后三轴双 blade 的然后还有四轴单臂双 blade 的还有现在五轴的
真空揉吧有变矩的这个是我们最新款的这里能不能请教一下就说的三轴五轴这个在使用场景上为什么会有这么多轴的不同的区别呢轴越多它的自由度就越多自由度越多它就能够做各自的分工合作的柔性就更强
那就是轴越多其实难度是越高的对像我们真空摩托轮我们的 T 轴旋转轴是一路串起来的就是如果要做五轴的至少我们中空电机要四组要叠在一起越叠它的加工精度也好装配精度好越难
所以五轴的可能售价会比四轴的贵很多前面你不停的在讲真空 robot 那为什么一定要加真空两个字带不带真空这个功能区别大吗真空跟大气区别就在于这只机械手在什么环境下如果在大气的环境下我们称为它是大气 robot 那大气 robot
它就没有我们真空密封的这个要求那如果是那个真空罗马那它是运用在真空环境下面像我们的 PVD 啊 H 啊一些炉管啊我们都是在真空的 process 下面镀膜还有克石对克石炉管加热它都需要真空的
对那真空环境下我的晶圆就要在真空环境下去做传送那这种情况下首先跟大气之间的隔绝你用磁流体的方案还是用静态密封的方案然后你的那个运动过程当中大气下面你还可以用 blade 背后吸一个真空来吸住晶圆所以在快速传动的时候它不会掉
但是真空下面它其实不能引入任何的真空它在真空环境下面就是放在我 Blade 上面传送的过程如果有一些抖动 Wafer 就会飘掉所以你的速度要骑得快精度要高那你这个抖动要控制得非常非常好所以真空 Robot 对抖动的要求是极高的
我们要做到 0.2 个 G 以下的一个真空抖动的要求不然的话我的手臂是提不起速度的只能慢慢传那慢慢传就满足不了设备上对我们传送的这个要求这种抖动是什么级别的抖动是不是半导体要求的比我们居家的这种场景什么炒菜机器人要求高但是不能同样去比较的一个抖动抖动有个指标那个重力加速度我们真空的要做到 0.2 个 G 以下一般我们现在都是 0.1 级或者 0.0 级
那比较一下像我们 OHT 天车整个 FOOP 在轨道上跑它也不能抖抖的话它会对晶圆也有些损伤所以天车的抖动现在指标是 0.5 个 G 也就是说我们要比天车抖动要小一半以上才能够在单片晶圆传送过程当中保证我的高速跟高精度不会位移
所以抖动要求非常高
我觉得你这个活干的太累了因为每片金元尤其是生产完的很贵的万一在传的过程中碰了一下对它上面那个线啊什么有个影响这就是钱啊是是是所以这一块的要求确实非常非常高对于我们一个传送部件来讲啊
高速高进度高可靠性然后那个超低震动啊这些都是我们这个赛道核心零部件发展的一个技术路线跟方向所以我们现在都用到一些直驱然后今年 AI 出来以后接下来我们会一些视觉的方案加进去也是来保证我未来这些性能有一个实时监控跟预防性管理一些数据的输出把一些数据在我们自己内部的 AI 的这个
库里面对我们累积经验也好累积很多 know how 也好是很有帮助的那么再想问问林总你刚刚讲的这些技术其实我觉得都非常高精尖有没有可能用到其他的领域也就是转化到比如说家庭行情或者其他的工业场景有没有场景泛化的可能性
我们有思考过这个问题那现在因为我觉得从人的生活的应用场景它的个性化太多所以这一块我觉得还需要很长时间的积累其实工业它是一个往标准化走的一个方向所以这么多年下来工业品的技术路线跟方向都是标准化所以它每个工作每个岗位其实都有它固有的一些运作模式所以在这个赛道我觉得在巨声智能 AI 的应用上面是可以很快的
或者说马上就能够产生很大的效益的但是如果应用在大家的生活的过程当中其实千人千面每个人习惯都不一样所以你要说做成一个标准化的可能就不符合我们每个年轻人的个性化要求那你对个性化的追求其实在目前来讲数据还没有足够多应用场景还没有足够完善的情况下其实还是会出很多的问题但是这种问题其实有时候会造成比较大的困扰
所以我觉得现阶段还是在工业品上面的 AI 的应用会有很大的效率提升要保证我可靠性的同时效率做很大提升对这就说明了为什么现在做其他领域的机器人可能没有怎么起量对吧
都是一些比较好的一些探索和样机确实有很多客户终端的这个场景的研究还没有到一定的程度我还想再问一下现在就是有非常多的新的技术方向比如说量子计算光电芯片这种新的场景或者新的技术出来你觉得未来机器人有没有可能在半导体晶圆厂里去替代人进行打工以后不需要你们那么多的工程师了有没有这样的可能性给我们展望一下嗯
我觉得现在已经有好多黑灯工厂就是没有人的除了机台当机以后要做 travel shooting 工程师进去其实正常运行过程都是无人工厂只是它不是人型的机器人对它只是不是人型的它也是固有的比如说 OHT 对吧带轨道的因为
工厂它可以按照一个固有的模式去设计大家都可以这样去 copy 这样效率最高最可靠最稳定又可以大规模的批量生产所以我觉得这个是完全可以实现的但未来是不是在 troubleshooting 这一块能不能再减少工程师其实刚才我提到的我们用一些预防性的管理我们用 AR 的数据库大家每个 fab 都积累很多的一些我们叫实时的参数来做一个预防性的判断提前的预警
这个是完全可以做到我要当机了以后再去处理那时候很紧急很多重要的 LAT 挡在那边那个东西对工厂的损失会非常大但是如果你能够用 AI 的这些 Couple Sheeting 以前我们碰到的一些异常的数据的叠加累计到最后真的一个设备可以变成一个不是自动化的设备是一个智能化的设备他自己会感觉今天我有点发烧了有点头晕了我就报警了
有人给我来检查一下或者给我做一点小动作不要导致我真的缺胳膊缺腿了以后再来给我做大手术所以我觉得这一点上面是很快就能够有看到一些成效的这个我觉得也非常务实的一个建议并不是说非要摆两个人性机器人那么有价值可能中看不中用
半导体还是很严谨的一个行业所以有很多概念我觉得半导体人会很谨慎的但是我们会拥抱因为整个半导体都是最高科技的累加所以很多新东西高纯材料也好高精密的设备也好优先都会应用在半导体的因为这个行业要求最高别的行业可能提不出这种要求所以我觉得我们对科技的我们对新技术的拥抱一定是
最需要也是最急迫的但是我们对新技术的应用是最严谨的所以验证起来也是最佳稳健的一种方式因为像别的行业可能说产线当机就当机停一会儿也没什么但是半导体是不可以的必须要稳定的持续的生产不能停
我们 Fab 是寸土寸金放一台设备都不容易所以要求体积越小越好速度越快越好你像工业机器人个厂房也没多少钱多摆一个六桌的机器人其实成本很有限当机了停在那边我设计才能说 over 个 10%到
20 那足够了很运行很顺畅但是对于我们 Fab 厂来讲我是设计才能 5 万片最好能够跑到个 5 万 5000 片我对别的 Fab 来讲就是一个非常大的一个效率的提升那我的竞争力就出来了我的成本就利润就出来了对利润就卡在这些效率所以我们工程师每天要想的怎么 CIP 怎么提升我的 Uptime
怎么提升我的 OEE 怎么提升我的 chabot shooting 的速度怎么去管控好我这些设备效率越高良率越好可靠性越高所以这里我聊完有深深的感受就是红虎是一家特别懂终端用户需求的产品商所以如果说金源厂想拉产能想让这个设备变得更加聪明更加低故障可以
可以跟红虎联系一下那么我们再问一下林总你们下一步有什么样的规划吗上一次聊有一个重大的节点进了台积电进了我们中国的台湾那有海外的布局的考虑吗有我们今年在新加坡已经设立了一个全资子公司然后会
通过新加坡这么一个国际化的一个支点然后去向欧美其他的一些地方去输出我们的服务跟产品当然如果以鸿湖的全子公司去推欧美上可能还有点压力所以我们在新加坡的全子公司又跟新加坡的本土的一家我们可以配合的他是做龙门的
有做直线电机的这个公司我们合作我们成立了一家合资公司那这家公司本身在欧美它的通道已经打通了销售体量都非常可观我们两家可以做一个非常强的互补因为它面向的客户做龙门街检测的客户它也需要 EFM 也需要我们的传送模块那这一块正好我可以跟它强强联手
我们提供前端的 EFM 的这个传送的核心零部件在新加坡做组装那新加坡做完组装以后作为新加坡的本土的一个制造商出口到欧美那这样就比较健康可以规避一些欧美的一些政策
所以这一块我觉得今年我们现在接下来几个企业也确实在海外市场来讲我觉得我们的竞争力还是非常强的国内大家都非常卷对海外来讲其实他们对价格的敏感度可能就没那么高他反而对技术要求很高所以像我们这种以技术见长的公司反而会被欧美的这些企业认同然后觉得你专业了那他就相信了你就有机会进去了一般你就很难被换掉
所以我觉得这一点来讲其实国内很多企业因为热因为投资人的追捧因为这个赛道政府政策的一些引导容易进入一个膨胀贸然进场
可能草草了事所以我觉得真正要做好一个半导体的装备或零部件还是要长期主义还是要技术优先只有这一块你才能够保证你的竞争力如果一味的大家以价格去其实有时候会变成一种劣币驱逐良币的这样一个场景其实对客户是不利的
有时候客户可能不专业他没办法判断你的技术真正专业的他其实还是会选择首先技术过瘾再是价格便宜服务好对所以其实这也是我们现在中国半导体市场要面对的一个现状很多公司零部件厂商都融了钱
进来然后都从最简单的集成做起那么它的积累能有多深呢其实这也是我们目前面对的一些问题不过我觉得这种趋势可能伴随着这几年市场的调整会有一些企业会离开这个赛道留下来的应该都是精华了所以你们要挺住我们很有信心我们一定挺得住
在去年八月份开始公司也实现了现金流转正就是也不需要靠输血来持续所以我觉得现在是一个比较健康的状态又有一些核心的研发出来然后接下来在这个赛道能够积累更多的经验在性价比上面做到更极致这种产品推到欧美
在海外以后又能够赚到更多的利润那这样支撑我的研发这样一个是正向循环的一个过程我觉得这个才是一个企业真正的核心你要靠自己自身的造血能力去活着而不是纯粹靠融资活着资本是着力的他如果在这个赛道不这么火了或者做的人太多了以后发现大家都没有毛利大家都在亏钱做其实
很难持续所以当不能持续的时候投资人他可能就没办法再出手那不出手你怎么办对吧没有输血那你可能就马上碰到现金流突劫的这样一个风险其实很多企业死都死在现金流上面当你融不到钱的时候你真的很痛苦这个也是我们曾经在光伏野蛮生长过程当中很多死掉企业同样的经历过所以我们对创业我们现在还是很有感触
好的好的谢谢林总跟我们分享了这么多从业的感受也祝福红虎未来发展的越来越棒一定要杀出宠为走向世界谢谢曹院也谢谢芯片界密的观众们其实一路对红虎的支持
也确实有很多朋友通过芯片揭秘来了解到红虎来助力红虎所以我觉得这个平台这个栏目真的特别特别好我跟曹院又是合作伙伴又是我的院长啊我以前在爱心 97 上课又是我的投资人啊
所以我说在这个人生过程当中有这么多贵人出现不做好我都不好意思所以我一定会全力以赴把我们这个产品做好把红壶做好也让我们投资人在我们这里得到最多的回报一起做哪儿正确的事把事做成谢谢大家
芯片揭秘汇聚精英智慧打造科技人专属发声平台抛弃产业热点揭秘行业趋势我是主播幻石我在芯片揭秘等着你